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產(chǎn)品中心/ products

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ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 原裝現(xiàn)貨

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 原裝現(xiàn)貨
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過(guò)螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機(jī)型中,您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UR421-T/UR600
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-05-16
  • 訪  問(wèn)  量:588
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產(chǎn)品詳情
品牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科價(jià)格區(qū)間2萬(wàn)-3萬(wàn)
儀器種類真空泵產(chǎn)品類型無(wú)油泵
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁,建材/家具,綜合
供貨號(hào)137.1702.5688

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵  原裝現(xiàn)貨

ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵  原裝現(xiàn)貨

  • 特點(diǎn)

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

  • 瞬停對(duì)策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。


       用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等


規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa



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